2016年，亦庄国投独立完成Mattson Technology项目海外并购；2017年启动屹唐半导体北京生产基地建设；2018年，逐步实现本土化生产及与国内客户的联合研发，屹唐半导体北京工厂首台产品正式下线并交付客户。本次收购进一步促进了经开区集成电路装备产业发展。